RFマグネトロンスパッタリング法によりGaAs(001)基板上に作製したFe(001)薄膜の磁気特性評価 Crystal Structures and Magnetic Properties of Fe(001) Thin Films on GaAs(001) Deposited by RF Magnetron Sputtering

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抄録

RFマグネトロンスパッタリング法を用いてGaAs(001)基板上にFe(001)薄膜(膜厚≧6nm)を成膜し,X線回折法(XRD)による結晶構造解析を行いFe薄膜がエピタキシャル成長していることを確認した.磁気特性は振動試料型磁力計(VSM)と強磁性共鳴法(FMR)による測定を行った.膜面平行に磁界を印加したVSM測定による磁化曲線はFe[100]方向が磁化容易方向,[110]方向が磁化困難方向であることを示しており,飽和磁化の値はbulkFeとほぼ同じ大きさを持つことが確認された.またFMRにより測定された面内磁気異方性は,bcc Feに対応する4回対称であり,FMRの共鳴線幅から求めたダンピング定数は極めて小さい値を示した.

Fe thin films, down to 6 nm thick, were prepared on GaAs(001) substrates by RF magnetron sputtering. The x-ray diffraction (XRD) analyses show that the epitaxial thin films of Fe(001) were grown with cube-on-cube orientation on GaAs(00l). Magnetic properties were investigated by vibrating sample magnetometry (VSM) and ferromagnetic resonance (FMR) spectroscopy. The magnetization curves obtained by applying in-plane magnetic fields indicate that easy (hard) direction is along [100] ([110]) and the saturation magnetization is close to the bulk values. The in-plane magnetic amsotropy measured by FMR shows four-fold symmetry, as expected for bcc Fe. The Gilbert damping coefficient, derived from the experimental linewidths of FMR, is small and independent of the direction of applied field.

収録刊行物

  • 電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録

    電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録 110(329), 59-63, 2010-12-02

    一般社団法人電子情報通信学会

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    110008674977
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10013050
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09135685
  • NDL 記事登録ID
    10937685
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-940
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  NII-ELS 
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