22aGQ-10 Si結晶中の表面・界面付近の原子空孔間相互作用に関する分子動力学解析(22aGQ 格子欠陥・ナノ構造(シリコン系材料),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
書誌事項
- タイトル別名
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- 22aGQ-10 Molecular Dynamics Analysis on Vacancy Interaction near Surface and Interface in Si Crystal
収録刊行物
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- 日本物理学会講演概要集
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日本物理学会講演概要集 66.2.4 (0), 981-, 2011
一般社団法人 日本物理学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680955160320
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- NII論文ID
- 110008760834
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- ISSN
- 21890803
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles