22aGQ-10 Si結晶中の表面・界面付近の原子空孔間相互作用に関する分子動力学解析(22aGQ 格子欠陥・ナノ構造(シリコン系材料),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))

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タイトル別名
  • 22aGQ-10 Molecular Dynamics Analysis on Vacancy Interaction near Surface and Interface in Si Crystal

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680955160320
  • NII論文ID
    110008760834
  • DOI
    10.11316/jpsgaiyo.66.2.4.0_981_3
  • ISSN
    21890803
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles

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