三次元集積デバイスにおけるマイクロ接合の信頼性向上技術

書誌事項

タイトル別名
  • サンジゲン シュウセキ デバイス ニ オケル マイクロ セツゴウ ノ シンライ セイコウ ジョウ ギジュツ
  • Reliability of Microbumps Interconnect for 3D TSV Chip Stacking
  • 電子デバイスの高速・高密度実装とインテグレーション技術論文特集
  • デンシ デバイス ノ コウソク ・ コウミツド ジッソウ ト インテグレーション ギジュツ ロンブン トクシュウ

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