フラットパネル製造工程におけるデュアルチャネルシステムに基づく欠陥位置特定手法

• 羽森 寛

• 坂和 正敏

• 片桐 英樹

Bibliographic Information

Other Title

• フラットパネル セイゾウ コウテイ ニ オケル デュアルチャネル システム ニ モトズク ケッカン イチ トクテイ シュホウ
• A defect position identification method through dual channel system for flat panel manufacturing processes

Journal

• 電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会 編

  電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会 編 94 (10), 323-333, 2011-10

  東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ

Keywords

• フラットパネル
• 欠陥検査
• 修復
• 高速

Details

• CRID: 1520290884356226688
• NII Article ID: 110008790479
• NII Book ID: AA11412446
• ISSN: 13452827
• NDL BIB ID: 11264349
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I11264349
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN