2Pa1-1 超音波スペクトロスコピーによるスパッタリング中の薄膜成長その場観察(ポスターセッション)

• 岡本 純基

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 中村 暢伴

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 荻 博次

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 平尾 雅彦

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 西山 雅祥

  大阪大学科学教育機器リノベーションセンター

書誌事項

タイトル別名

• 2Pa1-1 In-situ Observation of Film Growth during Sputtering by Ultrasound Spectroscopy(Poster Session)

収録刊行物

• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集

  超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集 32 (0), 57-58, 2011-11-08

  特定非営利活動法人 超音波エレクトロニクス協会

詳細情報

• CRID: 1390282763070839552
• NII論文ID: 110008913302
• DOI: 10.24492/use.32.0_57
• ISSN: 24331910
• ISSN: 13488236
• 本文言語コード: en
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles