L1_0およびL1_1規則合金膜を被覆した磁気力顕微鏡探針の空間分解能と反転磁界 Spatial Resolution and Switching Field of Magnetic Force Microscope Tips Coated with L1_0 and L1_1 Ordered Magnetic Films

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抄録

L1_0構造に規則化したFePd合金膜およびL1_1構造に規則化したCoPt合金膜を先端半径4nmのSi探針に被覆することにより磁気力顕微鏡(MFM)探針を作製し,被覆磁性材料,被覆合金膜の規則度,および,被覆膜厚がMFM分解能と探針反転磁界に及ぼす影響について系統的に調べた.分解能は被覆材料および膜厚により影響された.膜厚を80から20nmに減少させると,L1_0-FePdおよびL1_1-CoPt膜被覆探針の分解能が,それぞれ,9.1から7.9nmまで,9.1から7.5nmまで向上した.規則度(S)が0から0.52に向上するにつれて,80nm厚のL1_0-FePd膜を被覆した探針の反転磁界は0.25から1.50kOeまで増加した.反転磁界は被覆膜厚によっても変化した.膜厚が20から80nmに増加すると,S=0.52のL1_0-FePd膜被覆探針およびS=0.09のL1_1-CoPt膜被覆探針の反転磁界は,それぞれ,0.90から1.50kOeまで,1.70から2.70kOeまで増加した.本研究により,L1_0-FePdもしくはL1_1-CoPt合金膜を先鋭なSi探針に被覆することにより,10nmより高い分解能を持ち,かつ,1.5kOeよりも高い反転磁界を持つMFM探針の作製が可能であることが示された.

Magnetic force microscope (MFM) tips are prepared by coating Si tips of 4 nm radius with L1_0 ordered FePd and L1_1 ordered CoPt alloy films varying the thickness in a range between 20 and 80 nm. The effects of coated material, order degree, and coating thickness on the MFM spatial resolution as well as the switching field of MFM tip are investigated. The MFM resolution is influenced by the coated material and the coating thickness. As the coating thickness decreases from 80 to 20 nm, resolution is improved from 9.1 to 7.9 nm and from 9.1 to 7.5 nm for tips coated with FePd and CoPt films, respectively. The switching field of tip coated with 80-nm-thick FePd film increases from 0.25 to 1.50 kOe with increasing the order degree (S) of L1_0 from 0 to 0.52. The switching field is also influenced by the coating thickness. As the coating thickness increases from 20 to 80 nm, the switching field increases from 0.90 to 1.50 kOe and from 1.70 to 2.70 kOe for tips coated with FePd film of S=0.52 and coated with CoPt film of S=0.09, respectively. The present study has shown that it is possible to prepare an MFM tip with the resolution better than 10 nm and the switching field higher than 1.5 kOe by coating a sharp Si tip with L1_0 ordered FePd alloy or L1_1 ordered CoPt alloy film.

収録刊行物

  • 電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録

    電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録 112(80), 35-42, 2012-06-07

    一般社団法人電子情報通信学会

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    110009588228
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10013050
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    0913-5685
  • NDL 記事登録ID
    023810990
  • NDL 請求記号
    Z16-940
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  NII-ELS 
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