プラズマと量子ビームによる短波長光源 (小特集 プラズマによる短波長光源研究の進展とその物理)  [in Japanese] Shorter Wavelength Light Sources by Plasmas and Quantum Beams  [in Japanese]

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Abstract

最近になって,ポストEUVリソグラフィ露光光源波長として,6.x nmの波長が注目され始めている.ハーフピッチが16nm以下になると,これまで開発されてきた13.5nmの光源では開口数や多層膜鏡,マスクまで設計から製造まで高度に改善することが求められるからである.そこで,解像度を上げるために,更なる短波長光源が必要になってくる可能性があるというわけである.ここでは,ポストEUV光源としての波長6.x nm光源の進展について紹介することにする.

Journal

  • プラズマ・核融合学会誌

    プラズマ・核融合学会誌 89(10), 669-676, 2013-10

    プラズマ・核融合学会

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    110009662015
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN10401672
  • Text Lang
    JPN
  • ISSN
    0918-7928
  • NDL Article ID
    024966446
  • NDL Call No.
    Z15-8
  • Data Source
    NDL  NII-ELS  NDL-Digital 
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