SiCパワーMOSFET向け高誘電率ゲート絶縁膜技術

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タイトル別名
  • SiC パワー MOSFET ムケ コウユウデンリツ ゲート ゼツエンマク ギジュツ
  • Implementation of High-k Gate Dielectrics in SiC Power MOSFET
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス

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