MOVPE法によるGaN及びAlGaNへのCドーピングに関する研究

• 若杉 侑矢

• 本田 善央

• 天野 浩

書誌事項

タイトル別名

• MOVPEホウ ニ ヨル GaN オヨビ AlGaN エ ノ Cドーピング ニ カンスル ケンキュウ
• Study on C doping in GaN and AlGaN by MOVPE
• 電子部品・材料
• デンシ ブヒン ・ ザイリョウ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 113 (330), 47-50, 2013-11

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• GaN
• AlGaN
• C
• Mg
• ドーピング
• MOVPE
• doping

詳細情報

• CRID: 1520290885120558208
• NII論文ID: 110009887985
• NII論文ID: 110009888011
• NII論文ID: 110009889627
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 025087284
• NDL書誌ID: 025087926
• NDL書誌ID: 025087191
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025087284
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025087926
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025087191
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles