触媒反応生成高エネルギーH₂Oを用いてサファイア基板上に成長したZnOエピタキシャル膜の結晶構造と転位分布

• 中村 友紀

• 石塚 侑己

• 山口 直也

書誌事項

タイトル別名

• ショクバイ ハンノウ セイセイ コウエネルギー H ₂ O オ モチイテ サファイア キバン ジョウ ニ セイチョウ シタ ZnO エピタキシャルマク ノ ケッショウ コウゾウ ト テンイ ブンプ
• Crystalline structure and dislocation distribution of ZnO thin films grown on a-plane sapphire substrates using high-energy H₂O produced by a Pt-catalyzed H₂ and O₂ reaction
• 有機エレクトロニクス 材料デバイスサマーミーティング
• ユウキ エレクトロニクス ザイリョウ デバイスサマーミーティング

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 114 (96), 43-48, 2014-06-20

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• ZnO
• 触媒反応
• 高エネルギーH₂O
• 結晶構造
• 転位密度
• catalytic reaction
• high-temperature H₂O
• crystalline structure
• dislocation density

詳細情報

• CRID: 1520009409028893184
• NII論文ID: 110009925213
• NII論文ID: 110009925294
• NII論文ID: 110009925410
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 025590956
• NDL書誌ID: 025590756
• NDL書誌ID: 025590549
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025590956
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025590756
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025590549
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles