C-12-30 8角形MOSFET型応力検出素子の試作評価(基盤技術,C-12.集積回路,一般セッション)

• 貝和 航陽

  山形大学工学部電気電子工学科

• 山崎 義人

  山形大学大学院理工学研究科

• 原田 知親

  山形大学工学部電気電子工学科 山形大学大学院理工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• C-12-30 Implementation and evaluation of Octagon MOSFET Stress Sensor

収録刊行物

• 電子情報通信学会総合大会講演論文集

  電子情報通信学会総合大会講演論文集 2015 (2), 91-, 2015-02-24

  一般社団法人電子情報通信学会

詳細情報

• CRID: 1571417127836385280
• NII論文ID: 110009926985
• NII書誌ID: AN10471452
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles