F113002 積層型静電アクチュエータ(【F11300】静電アクチュエータの現状と将来展望,機素潤滑設計部門企画,先端技術フォーラム)

• 實吉 敬二

  東京工業大学

書誌事項

タイトル別名

• F113002 Stacked-type Electrostatic Actuator

収録刊行物

• 年次大会

  年次大会 2013 (0), _F113002-1-_F113002-5, 2013

  一般社団法人 日本機械学会

詳細情報

• CRID: 1390001205840304384
• NII論文ID: 110009931762
• DOI: 10.1299/jsmemecj.2013._f113002-1
• ISSN: 24242667
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmemecj/2013/0/2013__F113002-1/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles