結晶セレンヘテロ接合ダイオードを積層した高感度イメージセンサ(固体撮像技術および一般)

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タイトル別名
  • High Sensitivity Image Sensor Overlaid with Thin-Film Crystalline-Selenium-based Heterojunction Photodiode
  • 結晶セレンヘテロ接合ダイオードを積層した高感度イメージセンサ
  • ケッショウ セレンヘテロ セツゴウ ダイオード オ セキソウ シタ コウカンド イメージセンサ

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抄録

結晶セレン(Crystalline selenium: c-Se)ヘテロ接合ダイオードを適用した積層型イメージセンサを開発した.結晶粒径を画素サイズよりも十分小さくすることで固定パターンノイズを低減し,高画質な映像の撮影に初めて成功した.さらに,正孔注入阻止層として,n型ワイドギャップ半導体である酸化ガリウム(Gallium oxide: Ga_2O_3)を適用することで,外部電極からの正孔注入を抑制し,暗電流の大幅な低減を実現した.

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