J1640204 マイクロ駆動機構つき二軸独立型摩擦力顕微鏡における探針位置の制御([J164-02]マイクロ・ナノ理工学:nmからmmまでの表面制御とその応用(2))

• 高橋 幹人

  名古屋大学大学院

• 濱岡 賢志

  名古屋大学大学院

• 福澤 健二

  名古屋大学マイクロナノシステム工学専攻

• 伊藤 伸太郎

  名古屋大学マイクロナノシステム工学専攻

• 張 賀東

  名古屋大学複雑系科学専攻

書誌事項

タイトル別名

• J1640204 Tip position control in dual-axis friction force microscope with a micro actuator

抄録

Dual-axis friction force microscopy (FFM) is useful for clarifying the tribological properties of micro/nano scale textured surfaces. Recently, tip-position-controlled FFM has been presented for solving the problems caused by the lateral displacement of the tip, which is a significant problem of dual-axis FFM. In this study, we presented a dual-axis probe with a comb drive that is possible to improve the drive force.

収録刊行物

• 年次大会

  年次大会 2014 (0), _J1640204--_J1640204-, 2014

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• Friction force microscope
• Dual-axis probe
• MEMS
• Textured surface

詳細情報

• CRID: 1390001205844708480
• NII論文ID: 110009944070
• DOI: 10.1299/jsmemecj.2014._j1640204-
• ISSN: 24242667
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmemecj/2014/0/2014__J1640204-/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可