192 極低測定力触針式変位センサの開発 : センサの設計と性能評価(学生賞V,一般講演)

• 大澤 慎一

  東北大学

• 関根 匠

  東北大学

• 伊東 聡

  東北大学

• 清水 裕樹

  東北大学

• 高 偉

  東北大学

• 久保田 晃史

  MMCリョウテック(株)

• 加藤 明

  MMCリョウテック(株)

• 荒川 訓明

  MMCリョウテック(株)

• 安竹 睦実

  MMCリョウテック(株)

書誌事項

タイトル別名

• 192 Design of a stylus displacement sensor with a low measuring force

収録刊行物

• 東北支部総会・講演会　講演論文集

  東北支部総会・講演会　講演論文集 2013.48 (0), 186-187, 2013

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• 形状測定
• 加工機上測定
• 超精密加工
• 触針式センサ
• レーザ変位センサ

詳細情報

• CRID: 1390001205943599232
• NII論文ID: 110009961748
• DOI: 10.1299/jsmeth.2013.48.186
• ISSN: 24242713
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmeth/2013.48/0/2013.48_186/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles