MOVPE成長InGaN厚膜における相分離の臨界膜厚

• 児玉 和樹

• Hasan Md Tanvir

• 野村 裕之

書誌事項

タイトル別名

• MOVPE セイチョウ InGaN アツマク ニ オケル ソウ ブンリ ノ リンカイ マクアツ
• Critical thickness for phase separation in MOVPE-grown thick InGaN
• 電子部品・材料
• デンシ ブヒン ・ ザイリョウ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 114 (337), 9-14, 2014-11

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• InGaN
• MOVPE
• 相分離
• 臨界膜厚
• phase separation
• critical thickness

詳細情報

• CRID: 1520290882982600320
• NII論文ID: 110009971552
• NII論文ID: 110009971299
• NII論文ID: 110009971971
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 025982838
• NDL書誌ID: 025982044
• NDL書誌ID: 025983403
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025982838
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025982044
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025983403
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles