A-01 静電誘引形スプレーを用いたTSV向けレジスト成膜に関する研究 : 対向電極を用いた成膜パターンの精密化

• 内山 雄介

  九州大

• 黒河 周平

  九州大

• 林 照剛

  九州大

• 宮地 計二

  旭サナック

• 小林 義典

  旭サナック

• 松尾 一壽

  福岡工業大

書誌事項

タイトル別名

• A-01 A Study of the Resist Coating for the Manufacturing Process of TSV with the Electrospray : Refinement of Resist Pattern Coating by the Counter Electrode

収録刊行物

• 日本機械学会九州支部講演論文集

  日本機械学会九州支部講演論文集 2016.69 (0), 3-4, 2016

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• TSV
• Electrospray
• Counter Electrode
• Pattern Coating

詳細情報

• CRID: 1390001205864681984
• NII論文ID: 110010054624
• DOI: 10.1299/jsmekyushu.2016.69.3
• ISSN: 24242780
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmekyushu/2016.69/0/2016.69_3/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles