大気圧プラズマCVD法による機能薄膜の超高速形成技術の開発

• 垣内, 弘章

• 大参, 宏昌

• 安武, 潔

• 芳井, 熊安

• 遠藤, 勝義

• 森, 勇蔵

書誌事項

タイトル別名

• タイキアツ プラズマ CVD ホウ ニヨル キノウ ハクマク ノ チョウ コウソク ケイセイ ギジュツ ノ カイハツ

抄録

研究ノート

収録刊行物

• 大阪大学低温センターだより

  大阪大学低温センターだより 125 16-22, 2004-01

  大阪大学低温センター

詳細情報

• CRID: 1050581168908250624
• NII論文ID: 120004845912
• NII書誌ID: AN00030246
• HANDLE: 11094/11726
• ISSN: 03874419
• 本文言語コード: ja
• 資料種別: departmental bulletin paper
• データソース種別:
  • IRDB
  • CiNii Articles