Structural Properties of Island Films of Indium on Si(111) and the Sputter-Etching Profile

• BABA Shigeru

• IOZAKI Makoto

• SATO Shogo

• NAKANO Takeo

抄録

type:Article

identifier:http://repository.seikei.ac.jp/dspace/handle/10928/90

収録刊行物

• 成蹊大学理工学研究報告 = The journal of the Faculty of Science and Technology, Seikei University

  成蹊大学理工学研究報告 = The journal of the Faculty of Science and Technology, Seikei University 48 (1), 1-8, 2011-06-01

  成蹊大学理工学部

キーワード

• Depth-profile
• Island structure
• Sputtering yield
• Indium

詳細情報

• CRID: 1390291767726541824
• NII論文ID: 120005614688
• NII書誌ID: AA1203510X
• ISSN: 18802265
• DOI: 10.15018/00000810
• NDL書誌ID: 11159371
• Web Site: http://hdl.handle.net/10928/90
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I11159371
• 本文言語コード: en
• データソース種別:
  • JaLC
  • IRDB
  • NDL
  • CiNii Articles