Characteristics of a humidity sensor using a Na-doped hydroxyapatite thin film

IR

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  • Ndドープハイドロキシアパタイト薄膜を用いた湿度センサの特性

Abstract

A Na-doped hydroxyapatite (Na-HAp) thin film was prepared on a porous Al_2O_3 substrate using a pulsed laser deposition (PLD) technique. Crystallinity and composition were evaluated by X-ray diffraction (XRD) and energy dispersive X-ray (EDX) analysis. A humidity sensor was formed by establishing an inter-digital type Au electrode on the Na-HAp film. The humidity-impedance and humidity response of impedance characteristics were measured by an LCR meter. The results indicated that the Na-HAp thin film sensor showed excellent sensitivity and responsiveness to humidity conditions. 　（和文）　パルスレーザーデポジション(PLD)法により、Ndドープハイドロキシアパタイト(Na-HAp)薄膜を多孔質Al_2O_3基板上に成膜した。薄膜の結晶性や組成はX線回折(XRD)およびエネルギー分散型蛍光X線分析(EDX)によって評価した。Na-HAp薄膜上にインターデジタル型の金電極を設けて、湿度センサとした。インピーダンスの湿度による変化と、湿度応答性をLCRメータにより測定した。その結果、薄膜センサは湿度に対して優れた感度と応答性を示した。

This study was partially supported by the Project Research of the Faculty of Biology Oriented Science and Technology No.09-IV, 2009

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