Cross-sectional particle measurement in the resonance domain on the substrate through scatterometry

• Hoshino, Tetsuya

• 渡辺, 紀生

• Aoki, Sadao

• Sakurai, Kenji

• 伊藤, 雅英

収録刊行物

• Optics Express

  Optics Express 25 (21), 26329-26348, 2017-10

  Optica Publishing Group

詳細情報

• CRID: 1050282677596938624
• NII論文ID: 120007134692
• ISSN: 10944087
• HANDLE: 2241/00148685
• Web Site: https://tsukuba.repo.nii.ac.jp/records/43798
• 本文言語コード: en
• 資料種別: journal article
• データソース種別:
  • IRDB
  • CiNii Articles