Cl, F系ハロゲンガスの非平衡プラズマ分解に及ぼすO₂濃度の影響

• 藤田 隆文

  名古屋大学大学院工学研究科 エネルギー理工学専攻

• 張 崇昭

  名古屋大学大学院工学研究科 エネルギー理工学専攻

• 小島 義弘

  名古屋大学大学院工学研究科 エネルギー理工学専攻

• 松田 仁樹

  名古屋大学大学院工学研究科 エネルギー理工学専攻

• 黄 立維

  名古屋大学大学院工学研究科 エネルギー理工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Influence of O₂ Concentration on Non-thermal Plasma Decomposition of Halide Gases Containing Cl and F
• Cl,F系ハロゲンガスの非平衡プラズマ分解に及ぼすO2濃度の影響
• Cl Fケイ ハロゲンガス ノ ヒヘイコウ プラズマ ブンカイ ニ オヨボス O2 ノウド ノ エイキョウ

抄録

Wire-in-tube型プラズマ反応器を用いてCl, Fを含有するハロゲンガス（CCl₄, CHF₃, CHClF₂）に対してO₂の非平衡プラズマ分解に及ぼす影響について検討した．その結果，反応ガス雰囲気中に酸素が共存することにより，すべてのハロゲンガスの分解率は低下した．CHClF₂ガスプラズマ分解において窒素雰囲気下で確認された分解生成物HCl, Cl₂, HF, F₂, CCl₂F₂以外に，酸素添加時ではCO₂, COF₂, COCl₂が検知された．一方，陰極壁にCa(OH)₂を塗布した反応器を用いることによるプラズマ分解と遊離ハロゲンのin-situ吸収－除去実験より，CHClF₂の分解率は増加するとともに，ガス雰囲気に関係なくハロゲン副生成物の生成が抑制された．また，Ca(OH)₂の存在の有無に関係なく，酸素濃度の増加とともにCHClF₂の分解によるCO₂転化率は増加した．

収録刊行物

• 化学工学論文集

  化学工学論文集 31 (3), 226-230, 2005

  公益社団法人 化学工学会

キーワード

• 非平衡プラズマ
• ハロゲンガス
• <i>in-situ</i>吸収
• 酸素
• ハロゲン副生成物

詳細情報

• CRID: 1390001204509753984
• NII論文ID: 130000018642
• NII書誌ID: AN00037234
• DOI: 10.1252/kakoronbunshu.31.226
• ISSN: 13499203
• ISSN: 0386216X
• NDL書誌ID: 7386923
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7386923
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/kakoronbunshu/31/3/31_3_226/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可