Phase Modulation Homodyne Displacement Measuring Interferometer using Tunable Laser Diode as Light Source

• ISHIGE Masashi

  長岡技術科学大学大学院

• MATSUURA Fumio

  長岡技術科学大学大学院

• KAWASUGI Masaaki

  長岡技術科学大学大学院

• HOSHINO Yuuta

  長岡技術科学大学大学院

• QUOC Tuan BANH

  長岡技術科学大学大学院

• AKETAGAWA Masato

  長岡技術科学大学

Bibliographic Information

Other Title

• 周波数可変ダイオードレーザを光源とする位相変調ホモダイン変位計測干渉計
• シュウハスウ カヘン ダイオードレーザ オ コウゲン ト スル イソウ ヘンチョウ ホモダイン ヘンイ ケイソク カンショウケイ ダイ1ポウ ヨウソ ギジュツ ノ カイハツ
• —1^st Report : Development of Elementary Techniques—
• —第1報：要素技術の開発—

Abstract

Since an ultra precision technology, e.g. a lithography, have been progressing rapidly, displacement measuring methods with resolution of sub-nanometer or less are required. Displacement measuring interferometers are widely utilized in precision engineering industries. However, they suffer from problems of an imperfect interpolation error of nanometer order and an air refractive index fluctuation. In this paper, we propose and discuss a displacement measurement method with no interpolation error by combining a phase modulation homodyne interferometer with a tunable laser diode and the null method. We also discuss the capability to measure the air refractive index fluctuation.

Journal

• Journal of the Japan Society for Precision Engineering

  Journal of the Japan Society for Precision Engineering 76 (6), 673-678, 2010

  The Japan Society for Precision Engineering

Keywords

• nanometer
• sub-nanometer
• interferometer
• phase modulation
• interpolation
• air refractive index
• null method

Details

• CRID: 1390001204796942080
• NII Article ID: 130000421848
• NII Book ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.76.673
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• NDL BIB ID: 10733541
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/10733541
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10733541
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• Abstract License Flag: Disallowed