【知的ナノ計測専門委員会】　知的ナノ計測による革新的ものづくり基盤技術の創出

• 高谷 裕浩

  大阪大学大学院工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Innovative Manufacturing Based on Converging Technology Driven by Intelligent Nano-measurement
• チテキ ナノ ケイソク センモン イインカイ チテキ ナノ ケイソク ニ ヨル カクシンテキ モノズクリ キバン ギジュツ ノ ソウシュツ

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 76 (10), 1117-1120, 2010

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• intelligent nano-measurement
• geometrical quantity
• measurement standard
• traceability
• crystalline scale

詳細情報

• CRID: 1390282679773069952
• NII論文ID: 130000660547
• NII書誌ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.76.1117
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• NDL書誌ID: 10864587
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10864587
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles