アブストラクト
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- 国分 清秀
- 電子技術総合研究所
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- 一村 信吾
- 電子技術総合研究所
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- 清水 肇
- 電子技術総合研究所
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- 村上 寛
- 電子技術総合研究所
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- 斉藤 茂
- 東京理科大学
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- 宗村 哲雄
- 東京理科大学
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- 前田 高雄
- 東京理科大学
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- 石川 雄一
- 株式会社日立製作所機械研究所
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- 金子 粂太郎
- 東大原子核研究所
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- 小林 洋一
- 日本エム・ケー・エス(株)
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- 平田 正紘
- 電子技術総合研究所
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- 小野 雅敏
- 電子技術総合研究所
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- 戸田 義継
- 電子技術総合研究所
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- 磯貝 秀明
- 電子技術総合研究所
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- 小牧 昭二郎
- セイコー電子工業株式会社
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- 北条 久男
- バキューム・プロダクツ株式会社
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- 清水 勝見
- (株)長野計器製作所
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- 阿部 正一
- (株)長野計器製作所
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- 丸野 尚彦
- (株)長野計器製作所
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- 工藤 勲
- 電子技術総合研究所
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- 広木 成治
- 日本原子力研究所那珂研究所
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- 阿部 哲也
- 日本原子力研究所那珂研究所
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- 村上 義夫
- 日本原子力研究所那珂研究所
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- 祐延 悟
- (株)東芝総合研究所
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- 府山 盛明
- 株式会社日立製作所日立研究所
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- 中野 文雄
- 株式会社日立製作所日立研究所
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- 曽我 太佐男
- 株式会社日立製作所日立研究所
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- 鈴木 浩司
- 名古屋工業大学
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- 後藤 敬典
- 名古屋工業大学
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- 大脇 健史
- 豊田中央研究所
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- 多賀 康訓
- 豊田中央研究所
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- 櫻井 誠
- 東京大学生産技術研究所
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- 岡野 達雄
- 東京大学生産技術研究所
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- 辻 泰
- 東京大学生産技術研究所
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- 浜村 卓也
- 京都工芸繊維大学
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- 田村 貞次郎
- 京都工芸繊維大学
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- 飯塚 泰雄
- 京都工芸繊維大学
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- 大林 哲郎
- (株)大阪真空機器製作所
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- 中村 和幸
- 日本原子力研究所
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- 小原 建治郎
- 日本原子力研究所
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- 潮 嘉次郎
- 東京大学工学部物理工学科
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- 松田 七美男
- National Laboratory for High Energy Pysics
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- 金原 あきら
- 東京大学工学部物理工学科
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- 小林 司
- 日電アネルバ株式会社
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- 北原 洋明
- 日電アネルバ株式会社
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- 細川 直吉
- 日電アネルバ株式会社
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- 水由 明
- 三菱電線工業(株)
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- 伊藤 弘孝
- 三菱電線工業(株)
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- 前田 力
- 三菱電線工業(株)
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- 伊藤 弘昌
- 東北大学
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- 稲葉 文男
- 東北大学
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- 平野 治男
- 日本電子株式会社
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- 近藤 行人
- 日本電子株式会社
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- 吉村 長光
- 日本電子株式会社
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- 岩佐 康史
- (株)東芝
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- 三木 信晴
- (株)東芝
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- 小林 則幸
- (株)東芝
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- 山口 貢
- (株)東芝
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- 沢田 芳夫
- (株)東芝
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- 楠 勲
- 東北大学科学計測研究所
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- 照井 佳幸
- 東北大学科学計測研究所
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- 佐々木 俊明
- 東北大学科学計測研究所
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- 末松 憲治
- 早稲田大学
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- 中島 顕生
- 早稲田大学
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- 加藤 勇
- 早稲田大学
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- 伴野 達也
- 東京大学工学部物理工学科
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- 中東 孝浩
- 日新電機株式会社
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- 緒方 潔
- 日新電機株式会社
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- 安東 靖典
- 日新電機株式会社
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- 上條 栄治
- 日新電機株式会社
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- 岡本 康治
- 日新電機株式会社
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- 栗山 昇
- (株)徳田製作所
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- 嶋田 健太郎
- (株)徳田製作所
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- 高木 繁
- (株)徳田製作所
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- 伊藤 嘉規
- (株)徳田製作所
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- 渡辺 直樹
- 日電アネルバ株式会社
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- 桜井 武広
- 日電アネルバ株式会社
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- 中村 一雄
- 日電アネルバ株式会社
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- 小池 勲
- 福岡工業大学
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- 山下 鹿喜智
- 福岡工業大学
収録刊行物
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- 真空
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真空 30 (5), 512-528, 1987
一般社団法人 日本真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679044676608
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- NII論文ID
- 130000863959
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- ISSN
- 18809413
- 05598516
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- Crossref
- CiNii Articles