４そう回転型プラズマ成膜現像電子線真空リソグラフィ装置

• 内田 悦行

  愛知工業大学電子工学教室

• 蟹江 徹雄

  名古屋大学工学部電子機械工学教室

• 佐合 祐稔

  名古屋大学工学部電子機械工学教室

• 堀 勝

  名古屋大学工学部電子機械工学教室

• 服部 秀三

  名古屋大学工学部電子機械工学教室

• 松井 圭司

  (株) 大隅鉄工所

• 大塚 寿次

  (株) 昭和真空

• 永松 洋介

  (株) 昭和真空

書誌事項

タイトル別名

• Total dry electron-beam vacuum lithography system using 4 rotary chambers.
• 4ソウ カイテンガタ プラズマ セイ マク ゲンゾウ デンシセン シンクウ リ

抄録

記事分類: 電気工学--電子工学--集積回路

収録刊行物

• 真空

  真空 29 (5), 424-428, 1986

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390282679041894784
• NII論文ID: 130000864896
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.29.424
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 3079134
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3079134
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles