水晶振動子を用いた絶縁物薄膜のスパタリングイールド測定

• 山下 昌哉

  東京大学工学部物理工学科

• 馬場 茂

  東京大学工学部物理工学科

• 金原 粲

  東京大学工学部物理工学科

書誌事項

タイトル別名

• Measurement of Sputtering Yields of Insulator Films using a Quartz Crystal Oscillator
• スイショウ シンドウシ オ モチイタ ゼツエンブツ ハクマク ノ スパタリング

収録刊行物

• 真空

  真空 24 (4), 227-229, 1981

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390001204067632896
• NII論文ID: 130000866357
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.24.227
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 2311726
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I2311726
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles