加速度フィードバックを有する微動ステージの運動モードに基づく位置決め

• 涌井 伸二

  キヤノン

書誌事項

タイトル別名

• Motional Mode based Positioning of Micro-Moving Stage with Acceleration Feedback.

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｄ（産業応用部門誌）

  電気学会論文誌Ｄ（産業応用部門誌） 114 (10), 1057-1058, 1994

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• 微動ステージ
• 運動モード
• 加速度フィードバック

詳細情報

• CRID: 1390001204655682176
• NII論文ID: 130000958170
• DOI: 10.1541/ieejias.114.1057
• ISSN: 13488163
• ISSN: 09136339
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejias1987/114/10/114_10_1057/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles