小特集　ダイヤモンド薄膜の成膜技術・評価および応用　ＣＶＤダイヤモンド薄膜の電子デバイスへの応用

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タイトル別名
  • Special Issue/Deposition Methods, Characterizations and Applications of Diamond Films. Applications of CVD-grown Diamond Films to Electronic Devices.
  • CVD ダイヤモンド ハクマク ノ デンシ デバイス エ ノ オウヨウ

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抄録

記事分類: 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子

収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 42 (12), 1230-1234, 1991

    一般社団法人 表面技術協会

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