LSI微細銅配線技術の将来

• 上野 和良

  日本電気 (株)

• 小原 勝彦

  上村工業 (株)

• 君塚 亮一

  荏原ユージライト (株)

• 中島 弘

  イデヤ (株)

• 縄舟 秀美

  甲南大学

• 播 直規

  日本ノベラスシステムズ (株)

• 小岩 一郎

  沖電気工業 (株)

• 光田 好孝

  東京大学

• 上谷 正明

  荏原ユージライト (株)

書誌事項

タイトル別名

• ザダンカイ 2 LSI ビサイ ドウ ハイセン ギジュツ ノ ショウライ

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 51 (supplement), 22-28, 2000

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• General Engineering

詳細情報

• CRID: 1390001204117545600
• NII論文ID: 130001076924
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.51.supplement_22
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL書誌ID: 5334043
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5334043
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles