全アルミニウム合金製小型スパッタ装置

• 山川 洋幸

  日本真空技術 (株)

• 由井 和雄

  日本真空技術 (株)

• 清田 哲司

  日本真空技術 (株)

• 廣野 征陵

  日本真空技術 (株)

• 佐々木 隆之助

  日本真空技術 (株)

• 平田 招佑

  日本真空技術 (株)

• 君島 文雄

  日本真空技術 (株)

• 小宮 宗治

  日本真空技術 (株)

書誌事項

タイトル別名

• All aluminum alloy sputter equipment of small scale.
• ゼン アルミニウム ゴウキンセイ コガタ スパッタ ソウチ ソクホウ

抄録

記事分類: 電気工学--電子工学--集積回路

収録刊行物

• 真空

  真空 28 (5), 406-411, 1985

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390282679040402048
• NII論文ID: 130001582849
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.28.406
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 3030153
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3030153
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles