Ga-Al フラックスを用いたAlN の液相エピタキシャル成長

• 安達 正芳

  東北大学 多元物質科学研究所

書誌事項

タイトル別名

• Liquid Phase Epitaxial Growth of AlN Using Ga-Al Flux
• 新進気鋭 Ga-Alフラックスを用いたAlNの液相エピタキシャル成長
• シンシン キエイ Ga-Al フラックス オ モチイタ AlN ノ エキソウ エピタキシャル セイチョウ

収録刊行物

• まてりあ

  まてりあ 53 (1), 18-22, 2014

  公益社団法人 日本金属学会

キーワード

• AlN
• LPE
• epitaxial growth
• Ga-Al flux
• nitrided sapphire substrate

詳細情報

• CRID: 1390001204080460416
• NII論文ID: 130003388700
• NII書誌ID: AN10433227
• DOI: 10.2320/materia.53.18
• ISSN: 18845843
• ISSN: 13402625
• NDL書誌ID: 025132713
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/025132713
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025132713
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/materia/53/1/53_53.18/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles