センサを支えるマイクロマシン技術

• 石田 誠

  豊橋技術科学大学

書誌事項

タイトル別名

• Micromachining Technologies for Sensor Fabrications
• センサ オ ササエル マイクロマシン ギジュツ

抄録

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収録刊行物

• 電気学会誌

  電気学会誌 134 (3), 128-131, 2014

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• センサ
• マイクロマシニング
• プロセス技術
• 接合技術
• 実装技術

詳細情報

• CRID: 1390282679972812800
• NII論文ID: 130003393382
• NII論文ID: 40020017221
• NII書誌ID: AN10432927
• DOI: 10.1541/ieejjournal.134.128
• ISSN: 18814190
• ISSN: 13405551
• NDL書誌ID: 025344209
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/025344209
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025344209
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal/134/3/134_128/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可