偏光解析法(エリプソメトリ)とその応用

• 梅野 正義

  名大工

書誌事項

タイトル別名

• ヘンコウ カイセキホウ エリプソメトリ ト ソノ オウヨウ

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 46 (9), 889-890, 1977

  公益社団法人 応用物理学会

詳細情報

• CRID: 1390282679606217984
• NII論文ID: 130003590307
• NII論文ID: 40000277169
• NII書誌ID: AN00026679
• DOI: 10.11470/oubutsu1932.46.889
• ISSN: 21882290
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 1842654
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/1842654
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I1842654
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles