反応性プラズマにおけるプラズマ表面相互作用シミュレーション

• 浜口 智志

  京都大学エネルギー科学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Simulations of plasma-surface interaction in reactive plasmas

抄録

反応性プラズマは材料プロセスに多く用いられるが,プラズマと材料表面との相互作用に関してはよく理解されていない点が多い.近年,分子動力学法による計算機シミュレーションを胴いて,プラズマ表面相互作用を原子レベルでモデル化して解析しようとする試みが広く行われているほ本稿では,反応性プラズマのシミュレーションの中で,特に,プラズマ表面相互作用のシミュレ-ションに関して概説する.

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 70 (9), 1099-1103, 2001

  公益社団法人 応用物理学会

キーワード

• plasma processing
• reactive plasma
• reactive ion etching (RIE)
• molecular dynamics (MD) simulation
• plasma-surface interaction
• embedded atom method (EAM)
• Tersoff potential
• Stillinger-Weber potential

詳細情報

• CRID: 1390282679572603392
• NII論文ID: 130003594424
• DOI: 10.11470/oubutsu1932.70.1099
• COI: 1:CAS:528:DC%2BD3MXnvFansrw%3D
• ISSN: 21882290
• ISSN: 03698009
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可