ＣＡＩＣＩＳＳによる表面構造モニターとそれによる膜成長コントロール

• 片山 光浩

  理化学研究所

• 中山 知信

  新技術事業団青野原子制御表面プロジェクト

• 青野 正和

  理化学研究所 新技術事業団青野原子制御表面プロジェクト

書誌事項

タイトル別名

• Real-Time Monitoring and Control of Epitaxial Film Growth by Coaxial Impact-Collision Ion Scattering Spectroscopy(CAICISS).

抄録

同軸型直衝突イオン散乱分光法(CAICISS)は,膜成長などにおいて動的に変化しつつある表面の組成や構造をリアルタイムで時間分解して解析するのにきわめて適している。この特徴を利用して,CAICISSによって膜成長をリアルタイムで観察しながら,そのモニターされた情報をMBEシステムにフィードバックすることにより,膜成長しつつある表面の組成や構造をコントロールする新しい膜成長自動制御装置を開発した。本稿では,この“CAICISSモニター膜成長自動制御装置”の動作原理と特徴およびこの装置を用いて行ったいくつかの応用例を紹介する。

収録刊行物

• 表面科学

  表面科学 14 (7), 423-428, 1993

  公益社団法人 日本表面科学会

詳細情報

• CRID: 1390001206456246144
• NII論文ID: 130003683390
• DOI: 10.1380/jsssj.14.423
• COI: 1:CAS:528:DyaK2cXkt1Squw%3D%3D
• ISSN: 18814743
• ISSN: 03885321
• ISSN: http://id.crossref.org/issn/03885321
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/jsssj1980/14/7/14_7_423/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可