ドライエッチング法

• 奥平 定之

  (株) 日立製作所中央研究所

• 下元 泰治

  (株) 日立製作所中央研究所

• 川本 佳史

  (株) 日立製作所中央研究所

書誌事項

タイトル別名

• Dry Etching
• ドライ エッチングホウ

収録刊行物

• 金属表面技術

  金属表面技術 30 (10), 508-517, 1979

  一般社団法人 表面技術協会

詳細情報

• CRID: 1390282679089206528
• NII論文ID: 130003809804
• NII論文ID: 40000775921
• NII書誌ID: AN00064951
• DOI: 10.4139/sfj1950.30.508
• COI: 1:CAS:528:DyaL3cXpsl2m
• ISSN: 18843395
• ISSN: 00260614
• NDL書誌ID: 2065814
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I2065814
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles