アセチレンプラズマを用いたアモルファス炭素膜の成膜過程の赤外分光解析

• 篠原 正典

  長崎大学大学院生産科学研究科

• 川副 大樹

  長崎大学大学院生産科学研究科

• 稲吉 孝紀

  長崎大学大学院生産科学研究科

• 河上 貴聡

  長崎大学大学院生産科学研究科

• 原 幸治郎

  長崎大学大学院生産科学研究科

• 松田 良信

  長崎大学工学部電気電子工学科

• 藤山 寛

  長崎大学大学院生産科学研究科

• 新田 祐樹

  トーヨーエイテック株式会社

• 中谷 達行

  トーヨーエイテック株式会社

書誌事項

タイトル別名

• Infrared Spectroscopy of Amorphous Carbon Film Deposition Process using Acetylene Plasma

抄録

We have investigated the acetylene-plasma deposition of amorphous carbon film using “in-situ”, “real-time” infrared absorption spectroscopy in the multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS). We showed that sp-hydrocarbons are dominant species at the initial stages of deposition, while sp³-hydrocarbon components increase their densities with film growth. IRAS data obtained for the deposited amorphous carbon film exposed to deuterium plasma showed that the density of the sp-hydrocarbon components is relatively high in the vicinity of the film surface. On the basis of the present experimental results, we suggest that the sp-hydrocarbons are transformed into the sp²-, sp³-hydrocarbon components at the film surface through the addition reaction.

収録刊行物

• 表面科学

  表面科学 31 (8), 400-404, 2010

  公益社団法人 日本表面科学会

キーワード

• infrared spectroscopy
• amorphous carbon
• acetylene plasma
• addition reaction

詳細情報

• CRID: 1390001206459088896
• NII論文ID: 130004486617
• DOI: 10.1380/jsssj.31.400
• ISSN: 18814743
• ISSN: 03885321
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/jsssj/31/8/31_8_400/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可