超精密加工後の半導体表面の原子構造観察

• 有馬 健太

  大阪大学大学院工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Atomic-scale Observations of Semiconductor Surfaces after Ultra-Precision Machining
• チョウセイミツ カコウ ゴ ノ ハンドウタイ ヒョウメン ノ ゲンシ コウゾウ カンサツ

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 80 (5), 452-456, 2014

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• semiconductor surface
• atomic structure
• ultra-precision machining
• scanning tunneling microscopy
• graphene

詳細情報

• CRID: 1390001204830307584
• NII論文ID: 130004513557
• NII書誌ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.80.452
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• NDL書誌ID: 025520894
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025520894
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • KAKEN