Atomic-scale Observations of Semiconductor Surfaces after Ultra-Precision Machining

• ARIMA Kenta

  大阪大学大学院工学研究科

Bibliographic Information

Other Title

• 超精密加工後の半導体表面の原子構造観察
• チョウセイミツ カコウ ゴ ノ ハンドウタイ ヒョウメン ノ ゲンシ コウゾウ カンサツ

Journal

• Journal of the Japan Society for Precision Engineering

  Journal of the Japan Society for Precision Engineering 80 (5), 452-456, 2014

  The Japan Society for Precision Engineering

Keywords

• semiconductor surface
• atomic structure
• ultra-precision machining
• scanning tunneling microscopy
• graphene

Details

• CRID: 1390001204830307584
• NII Article ID: 130004513557
• NII Book ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.80.452
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• NDL BIB ID: 025520894
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/025520894
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025520894
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • KAKEN