ソフトウェアエージェントによる成膜形状計算の自動モデル化と最適成膜条件の探索

• 高橋 崇宏

  静岡大工

• 荒川 正幹

  東大院工

• 船津 公人

  東大院工

• 江間 義則

  静岡大工

書誌事項

タイトル別名

• Automatic modeling of calculation processes of the shapes of the deposited films using software agent

抄録

半導体デバイス作製時の微細成膜形状はプロセスシミュレータで予測されるが計算コストが莫大である。計算過程をPLSなどでモデル化できれば計算コストの大幅な削減が期待できる。本研究では、エージェント技術を用いて、自律的にシミュレータを操作してトレーニングデータを作成し、汎用的なモデル化ソフトを操作してモデルを作るシステムを開発した。得られたモデルは予測性が高く、最適な成膜形状を得る条件を容易に求められるようになった。

収録刊行物

• ケモインフォマティクス討論会予稿集

  ケモインフォマティクス討論会予稿集 2005 (0), JP24-JP24, 2005

  公益社団法人 日本化学会・情報化学部会

キーワード

• エージェント
• 化学気相堆積法
• ニューラルネットワーク
• 回帰分析
• 半導体製造プロセス

詳細情報

• CRID: 1390282680713176192
• NII論文ID: 130004574874
• DOI: 10.11545/ciqs.2005.0.jp24.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可