錫蒸着した銅基板と銅リボンの超音波接合により形成した特異界面組織

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タイトル別名
  • Anomalous Interfacial Microstructure Formed by Ultrasonic Bonding of Copper Foils with Tin-Deposited Copper Plates

抄録

次世代高温動作パワーデバイスの配線材には銅が適している.しかし銅と銅の直接接合では大きな超音波出力を必要とし,電極下部のデバイスが損傷が懸念される.本研究では,インサート材として錫に着目し,錫蒸着膜を介した銅基板と銅リボンの超音波接合を試み,形成された界面組織を調べた.

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205697435648
  • NII論文ID
    130004641995
  • DOI
    10.14920/jwstaikai.2010f.0.163.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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