干渉計を用いた楕円体ミラーの形状計測

湯本 博勝, 山内 和人, 三村 秀和, 松山 智至, 山村 和也, 佐野 泰久, 遠藤 勝義, 石川 哲也, 森 勇藏

doi:10.11522/pscjspe.2004a.0.116.0

干渉計を用いた楕円体ミラーの形状計測

DOI

湯本博勝

大阪大学　工学研究科　精密科学
山内和人

大阪大学　工学研究科　精密科学
三村秀和

大阪大学　工学研究科　精密科学
松山智至

大阪大学　工学研究科　精密科学
山村和也

大阪大学　工学研究科　精密科学
佐野泰久

大阪大学　工学研究科　精密科学
遠藤勝義

大阪大学　工学研究科　精密科学
石川哲也

理化学研究所
森勇藏

大阪大学　工学研究科　精密科学

書誌事項

タイトル別名

Measurement of surface profiles of elliptical mirrors by using interferometer -Development of highly accurate stitching method-
高精度スティッチング法の開発

抄録

曲率が大きなX線集光ミラーに対して干渉計を用いて測定すると,干渉縞が密になりすぎて計測できる範囲が非常に狭いものとなり,計測データをスティッチする必要がある.そこで,スティッチする際の精度を高めるために,平面ミラーにより計測するミラーの傾きをモニターする計測システムを開発した.結果,80mmに対して10μm以上の深さを持った非常に大きな曲率を持つミラーをpv2nmの測定再現性で測定可能となった。