FIB-CVDを用いて作成したDLC膜のHRTEM観察

• 坂本 直道

  いわき明星大学　理工学部　電子情報学科

• 安野 拓也

  いわき明星大学　理工学部　機械工学科

• 八木 貴弘

  東京理科大学　基礎工学部　材料工学科

• 寶諸 知史

  東京理科大学　基礎工学部　材料工学科

• 向後 保雄

  東京理科大学　基礎工学部　材料工学科

書誌事項

タイトル別名

• HRTEM Observation of DLC Films Prepared by FIB-CVD

抄録

我々は将来のナノマシニングへの応用を狙い、FIB-CVD法を用いて形成したDLC構造体に関する研究を行っている。本研究ではDLC構造体の微細構造と構成原子の化学結合状態を明らかにすることを目的とする。解析には高分解能分析透過型顕微鏡を用いた。透過電子像から得られた回折像は明瞭なハローパターンを示し試料が非晶質であることを示した。またDLCの典型的な電子エネルギ損失分光スペクトルを得ることが出来た。

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2004A (0), 389-389, 2004

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• ダイアモンド状カーボン
• 収束イオンビーム
• 高分解能透過型電子顕微鏡

詳細情報

• CRID: 1390001205648827136
• NII論文ID: 130004655665
• DOI: 10.11522/pscjspe.2004a.0.389.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可