Sawyerモータの精密位置決めに関する研究:サーフェスエンコーダを用いた位置決めシステムの提案 Precision positioning of a Sawyer motor

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Author(s)

    • 田野 誠
    • 東北大学 工学研究科 ナノメカニクス専攻
    • 高 偉
    • 東北大学 工学研究科 ナノメカニクス専攻
    • 清野 慧
    • 東北大学 工学研究科 ナノメカニクス専攻
    • 森田 洋
    • 住友重機械工業 技術開発センター
    • 平田 徹
    • 住友重機械工業 技術開発センター

Abstract

多自由度平面モータであるSawyerモータは高速,軽量,ストロークが長いといった長所を持つが,オープンループ駆動時で数十μmと低い位置決め精度が短所として挙げられる.そこで,多自由度計測装置であるサーフェスエンコーダを融合することでSawyerモータの長所を失うことなく,クローズドループ制御を導入したステージシステムを構築することができる.本報では,提案の位置決めシステムについて述べる.

Journal

  • Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

    Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2004A(0), 500-500, 2004

    The Japan Society for Precision Engineering

Codes

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