Walking Driveに基づく超精密アライメント装置の開発

• 社本 英二

  名古屋大学　工学研究科　機械工学専攻

• 山本 祐生

  名古屋大学　工学研究科　機械工学専攻

• 谷口 芳光

  名古屋大学　工学研究科　機械工学専攻

• 加藤 真浩

  名古屋大学　工学部　機械·航空工学科

• 布目 清成

  名古屋大学　工学研究科　技術部

• 山内 朗

  東レエンジニアリング　エレクトロニクス事業本部　ファインプロセス事業部　実装機器部

• 奈良場 聡

  東レエンジニアリング　エレクトロニクス事業本部　ファインプロセス事業部　実装機器部

書誌事項

タイトル別名

• Development of Ultraprecision Alignment Table Driven by Means of Walking Drive
• 画像処理を利用した並進·回転方向の同時位置決め

抄録

著者らは圧電素子を用いて長ストロークにわたる滑らかな送り動作を実現する超精密駆動方法(WalkingDriveと呼ぶ)を開発してきた。本報では、超精密アライメント装置を開発し、CCDカメラを用いた画像処理による精密位置決めを試み、並進方向位置決め誤差40nm以下、回転方向位置決め誤差0.5μrad以下を達成した。また、オープンループによる位置決め精度向上のために、各種補正方法について検討している。

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2004S (0), 551-551, 2004

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• Walking Drive
• 位置決め
• 圧電素子
• 画像処理
• アライメント

詳細情報

• CRID: 1390001205648394880
• NII論文ID: 130004656376
• DOI: 10.11522/pscjspe.2004s.0.551.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可