静電型MEMSアクチュエータの新しい固着防止駆動法

• 福重 孝志

  東京工業大学　総合理工学研究科　メカノマイクロ工学専攻

• 秦 誠一

  東京工業大学　精密工学研究所

• 下河辺 明

  東京工業大学　精密工学研究所

書誌事項

タイトル別名

• A New Driving Method for Electrostatic MEMS Actuators to Prevent Sticking

抄録

静電型MEMSアクチュエータは,高い電界の影響で,しばしば絶縁層の帯電を起こしてしまう.帯電はアクチュエータの固着を引き起こし,応答高速化の妨げになるため,我々はこの帯電を除去可能な駆動法を提案し,実験によりその効果を実証した.この駆動法は,印加する電圧の波形を変更するだけで実現可能であるため,デバイス自体の材質や寸法,形状等を変更する必要が無く,簡便で多くのデバイスに適用可能である.

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2004S (0), 700-700, 2004

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• MEMS
• 帯電
• 金属ガラス

詳細情報

• CRID: 1390282680624602112
• NII論文ID: 130004656508
• DOI: 10.11522/pscjspe.2004s.0.700.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可