A New Driving Method for Electrostatic MEMS Actuators to Prevent Sticking
-
- Fukushige Takashi
- Tokyo Institute of Technology
-
- Hata Seiichi
- Tokyo Institute of Technology
-
- Shimokohbe Akira
- Tokyo Institute of Technology
Bibliographic Information
- Other Title
-
- 静電型MEMSアクチュエータの新しい固着防止駆動法
Abstract
静電型MEMSアクチュエータは,高い電界の影響で,しばしば絶縁層の帯電を起こしてしまう.帯電はアクチュエータの固着を引き起こし,応答高速化の妨げになるため,我々はこの帯電を除去可能な駆動法を提案し,実験によりその効果を実証した.この駆動法は,印加する電圧の波形を変更するだけで実現可能であるため,デバイス自体の材質や寸法,形状等を変更する必要が無く,簡便で多くのデバイスに適用可能である.
Journal
-
- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
-
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2004S (0), 700-700, 2004
The Japan Society for Precision Engineering
- Tweet
Keywords
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1390282680624602112
-
- NII Article ID
- 130004656508
-
- Data Source
-
- JaLC
- CiNii Articles
-
- Abstract License Flag
- Disallowed