Measurement of opaque-multi-layer film thickness by photoacoustic effect-Microvibration measurement for rough face

• Okuda Takahiro

  Kagawa University

• Ishimaru Itirou

  Kagawa University

• Tutui Hiromitu

  Kagawa University

Bibliographic Information

Other Title

• 光音響効果による不透明多層膜厚の計測
• 粗面微小振動計測技術

Abstract

不透明多層膜厚計測手法として、紫外線パルスレーザにより最表面層を光熱変換効果により励起し得られた共振周波数の解析から各層の膜厚を計測する手法を提案している。本報告では、粗面(10μm)の微小 (10nm以下) な共振振動を非接触で計測するスペックル干渉計について検討した。粗面から生じる高次回折光をフーリエ変換面においてピンホールで除去して得た0次回折光を物体光として用いるマイケルソン干渉計で計測した。

Journal

• Proceedings of JSPE Semestrial Meeting

  Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2004S (0), 792-792, 2004

  The Japan Society for Precision Engineering

Keywords

• multilayer film
• non-contacting measurement
• optical application
• photonics
• speckle interferometry
• photoacoustic

Details

• CRID: 1390282680625105920
• NII Article ID: 130004656589
• DOI: 10.11522/pscjspe.2004s.0.792.0
• Data Source:
  • JaLC
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• Abstract License Flag: Disallowed