3個の圧電素子を用いた自走式マイクロアクチュエータの動作解析
書誌事項
- タイトル別名
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- Motion analysis of a microactuator using three piezo elements
抄録
3個の積層型圧電素子を三角形状に接続したインチワームタイプのマイクロアクチュエータの動作を理論的に明らかにする。三角形の頂点に電磁石を配置する。電磁力によって2個の頂点を固定し、圧電素子の伸縮によって1個の頂点を移動させる。マイクロアクチュエータの動作を詳細に検討する。
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2005A (0), 1217-1218, 2005
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680626155648
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- NII論文ID
- 130004656767
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可